Advances in resist technology and processing XV - 23-25 February 1998, Santa Clara, California
- Författare
- (Will Conley, chair/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1998 | USA | 2 vol. | ||
| Cop. 1998 | USA | 817 sidor. | 0-8194-2778-0 | |